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申请/专利权人：株式会社爱发科
摘要：本发明提供一种真空蒸镀方法，能够尽量抑制蒸镀舟皿上产生的局部变形的进行，延长蒸镀舟皿的使用寿命。包含蒸发工序，其使用蒸镀舟皿3，以与限定收纳部的舟皿主体的底板抵接的方式从其上方供给线状的蒸镀材料，通过在两电极安装板部间通电而加热舟皿主体，使收纳部内的蒸镀材料蒸发，其中，所述蒸镀舟皿具有：具有蒸镀材料Em的收纳部31a的作为蒸镀源BS的舟皿主体31；以及分别从舟皿主体的两端伸出的电极安装板部33。还包括移位工序，其在供给线状的蒸镀材料期间，通过与舟皿主体的底板抵接的线状的蒸镀材料的前端部Em1相对于舟皿主体的相对移动而使前端部连续或间歇地移位。
主权项：1.一种用于使蒸镀材料在真空室内蒸发而对被蒸镀物进行蒸镀的真空蒸镀方法，其特征在于：包含蒸发工序，其使用蒸镀舟皿，以与限定收纳部的舟皿主体的底板抵接的方式从其上方供给线状的蒸镀材料，通过在两电极安装板部间通电而加热舟皿主体，使收纳部内的蒸镀材料蒸发，其中，所述蒸镀舟皿具有：具有蒸镀材料的该收纳部的作为蒸镀源的舟皿主体；以及分别从该舟皿主体的两端伸出的电极安装板部；还包括移位工序，在供给线状的蒸镀材料的期间，通过与舟皿主体的底板抵接的线状的蒸镀材料的前端部相对于舟皿主体的相对移动，使该前端部连续或间歇地移位。
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