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申请/专利权人：深圳市矩阵多元科技有限公司
摘要：本发明公开了一种溅射镀膜装置。本发明的溅射镀膜装置，包括壳体、布气板、绝缘块和准直器。壳体包括镀膜腔，布气板包括朝下的第一底面，准直器包括朝上的第一顶面，绝缘块包括隔绝面。其中，隔绝面与第一底面之间存在间隙，或者，隔绝面与第一顶面之间存在间隙。本发明的绝缘块设置了隔绝面，隔绝面与相邻的器件之间存在间隙，使得即便溅射面上布满了充当导体的镀膜粒子，也会因为该间隙使得绝缘块与隔绝面一端的器件之间不能通过镀膜粒子直接电导通，起到很好的绝缘效果。
主权项：1.溅射镀膜装置，其特征在于，包括：壳体，所述壳体包括镀膜腔；布气板，所述布气板设置在所述镀膜腔内，所述布气板包括通气口，所述通气口与所述镀膜腔连通，所述布气板包括朝下的第一底面；绝缘块，所述绝缘块包括溅射面、第一抵接面、第二抵接面和隔绝面，所述溅射面朝向所述镀膜腔的中轴线，所述第一抵接面和所述隔绝面位于所述绝缘块的同一侧，所述第一抵接面和所述隔绝面的朝向相同，所述第一抵接面和所述第二抵接面中的任意一者和所述溅射面分别位于所述绝缘块的不同侧，所述第一抵接面和所述第二抵接面相互背对设置，所述溅射面在竖直方向上的两端分别与所述隔绝面、所述第二抵接面连接；准直器，所述准直器包括朝上的第一顶面；其中，所述第一抵接面与所述第一底面抵接，所述隔绝面与所述第一底面之间存在间隙，所述第二抵接面与所述第一顶面抵接；或者，所述第一抵接面与所述第一顶面抵接，所述隔绝面与所述第一顶面之间存在间隙，所述第二抵接面与所述第一底面抵接。
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权利要求：
百度查询： 深圳市矩阵多元科技有限公司 一种溅射镀膜装置
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