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申请/专利权人：富士胶片电子材料(苏州)有限公司
摘要：一种电磁感应式高纯气体加热加湿装置，包括输气管道，所述输气管道上依次连接有气体过滤器、电感加热器、气体加湿器、气体缓冲罐以及出口电磁阀；通过多孔导磁金属柱，解决了高洁净度气体用不锈钢不能导磁因此不能用电磁感应方式加热的问题、并且增大了传热接触面积。本申请解决了现有技术能量转换效率低、调温速度慢、调温区间窄、气体流量上限低的问题；通过将电感加热器与气体加湿器依次安装在管道上，先对气体进行加热，然后再进行加湿，避免了水蒸气对电磁感应加热气体的影响，环形逆向设置的超纯水雾化喷头也使得气体的加湿效果更充分更均匀。
主权项：1.一种电磁感应式高纯气体加热加湿装置，包括输气管道（1），其特征在于：所述输气管道（1）上依次连接有气体过滤器（2）、电感加热器（3）、气体加湿器（4）、气体缓冲罐（5）以及出口电磁阀（6）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 富士胶片电子材料(苏州)有限公司 一种电磁感应式高纯气体加热加湿装置
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