龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：遵义师范学院
摘要：本发明公开了一种复合纳米材料阵列气敏传感器及其制备方法，包括多孔硅阵列，多孔硅阵列包括硅板和若干个多孔硅片，各多孔硅片相互平行且底面均固定于硅板的上表面，多孔硅片的正反面均设有多个凹槽，各凹槽内均附着有由栗壳状ZnO纳米材料，栗壳状ZnO纳米材料上附着有WO3纳米材料；选择硅片做基底材料，能提高对气体的灵敏度，用氧化锌做催化剂，更加安全和环保；利用氢氟酸刻蚀硅片可以对硅片进行良好的清洗功能，使得硅片更加的干净和平滑；利用水热法产生栗壳状氧化锌纳米材料，可以方便有效的控制反应时间和晶体的生成情况，同时所得产品物相均匀、纯度高、结晶良好、产率高；利用电化学沉积法产生三氧化钨纳米材料，使得产生过程更加稳定。
主权项：1.一种复合纳米材料阵列气敏传感器，其特征在于：包括多孔硅阵列，所述多孔硅阵列包括硅板和若干个多孔硅片，各所述多孔硅片相互平行且底面均固定于硅板的上表面，所述多孔硅片的正反面均设有多个凹槽，各所述凹槽内均附着有由栗壳状ZnO纳米材料，所述栗壳状ZnO纳米材料上附着有WO3纳米材料；所述多孔硅片正面的凹槽和反面的凹槽相互平行且错位分布；所述凹槽的形状为半圆柱形；所述的复合纳米材料阵列气敏传感器的制备方法包括以下步骤：S1、利用双槽电化学腐蚀法对光滑硅片进行双面刻蚀形成正反面均具有凹槽的多孔硅片；S2、将S1步骤得到的各多孔硅片的底面粘接在硅板的上表面，得到多孔硅阵列；S3、利用水热法产生栗壳状ZnO纳米材料，并将栗壳状ZnO纳米材料附着在所述多孔硅阵列的各层多孔硅片的凹槽中；S4、利用电化学沉积法产生WO3纳米材料，并使WO3纳米材料附着在所述栗壳状ZnO纳米材料上，得到所述的气敏传感器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 遵义师范学院 一种复合纳米材料阵列气敏传感器及其制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号