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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明涉及一种衬底处理系统及衬底搬送方法。移载传送区块的衬底搬送机构能够对载置在载置台的载体取放衬底W。进而，衬底搬送机构在第1处理区块及第2处理区块的位于不同高度位置的例如2个处理层间搬送衬底W。因此，无须像现有技术那样在移载传送区块与处理区块之间设置用来使衬底在上下方向的2个处理层间移动的交接区块。因此能够抑制衬底处理系统的占据面积。
主权项：1.一种衬底处理系统，其特征在于，具备：移载传送区块，设置着用来载置能收纳衬底的载体的载置台；第1处理装置，具有配置在上下方向的多个处理层；及第2处理装置，具有配置在上下方向的多个处理层；所述第1处理装置、所述移载传送区块及所述第2处理装置以该顺序在水平方向上连结，所述移载传送区块能够对载置在所述载置台的载体取放衬底，在内部具有搬送衬底的第1移载传送机构、及载置多个衬底的衬底缓冲区，所述第1移载传送机构在所述第1处理装置及所述第2处理装置的位于不同高度位置的2个处理层间搬送衬底，所述第1处理装置及所述第2处理装置各自的处理层具备搬送衬底的衬底搬送机构、及对衬底进行规定处理的处理单元，当在所述第1处理装置及所述第2处理装置的位于相同高度位置的2个处理层间搬送衬底时，位于各处理层的衬底搬送机构经由所述衬底缓冲区交接衬底，当在所述第1处理装置及所述第2处理装置的位于不同高度位置的2个处理层间搬送衬底时，所述第1移载传送机构在位于与各处理层对应的高度位置的所述衬底缓冲区的2个缓冲部间搬送衬底。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 衬底处理系统及衬底搬送方法
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