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申请/专利权人：南京理工大学
摘要：本发明公开了一种硅片应力的多通道快速扫描检测装置及方法，该装置包括探测激光发射器、扩束准直镜、起偏器、第一DOE分光模块、硅片样品搭载模块、4个分支模块、放大及模数信号转换模块和和计算机；每个分支模块包括14波片、第二DOE分光模块、检偏器模块和光电探测器模块；探测激光发射器发出的探测光，经过扩束准直镜后入射起偏器变为线偏振光，入射第一DOE分光模块后分为多束光同时穿过硅片样品，分别入射14波片后变为圆偏振光，再经第二DOE分光模块后被分为四束平行光，被光电探测器模块接收后，经放大及模数信号转换模块后将数据信号传至计算机，使用偏振成像算法对其进行数据处理，最后得到主应力差值图，以此分析硅片样品的损伤情况。本发明结构设计合理，使用方便，具有硅片应力检测中的多通道快速扫描的优势。
主权项：1.一种硅片应力的多通道快速扫描检测装置，其特征在于：包括探测激光发射器、扩束准直镜、起偏器、第一分光模块、硅片样品搭载模块、多个分支模块、放大及模数信号转换模块和数据处理模块；每个分支模块包括14波片、第二分光模块、检偏器模块和光电探测器模块；待测硅片样品固定在硅片样品搭载模块的旋转及平移步进电机上，从探测激光发射器发出的探测光依次经过扩束准直镜、起偏器和第二分光模块，分为多束平行光垂直入射硅片样品进行多点同时探测，入射每个分支模块的14波片后再次经过第二分光模块分为四束平行光，依次进入检偏器模块和光电探测器模块，最后每个分支模块的光电探测器模块输出的电信号由放大及模数信号转换模块统一转换为数字信号后被数据处理模块接收，数据处理模块使用偏振成像算法计算出硅片样品探测点的第一主应力与第二主应力差值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京理工大学 一种硅片应力的多通道快速扫描检测装置及方法
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