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申请/专利权人:日东电工株式会社
摘要:提供适于确保调光用材料对透明导电层的润湿性的调光用导电性薄膜的制造方法。调光用导电性薄膜的制造方法包括以下的准备工序和透明导电层形成工序。准备工序中,准备长条的层叠薄膜W。长条的层叠薄膜W具备长条的基材薄膜10和贴合于基材薄膜10的第一面11的长条的保护薄膜20。透明导电层形成工序中,在减压气氛下,在层叠薄膜W中的第二面12上依次成膜导电性氧化物层31、金属层32和导电性氧化物层33从而形成透明导电层30,将带有该透明导电层30的层叠薄膜W卷绕成卷状。
主权项:1.一种调光用导电性薄膜的制造方法,其包括以下的准备工序和透明导电层形成工序,准备工序:准备长条的层叠薄膜,所述层叠薄膜具备:具有第一面和与该第一面相反的一侧的第二面的长条的基材薄膜、及贴合于所述第一面的长条的保护薄膜;透明导电层形成工序:在减压气氛下,在所述层叠薄膜中的所述第二面上依次成膜第一导电性氧化物层、金属层和第二导电性氧化物层从而形成透明导电层,将带有该透明导电层的层叠薄膜卷绕成卷状。
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权利要求:
百度查询: 日东电工株式会社 调光用导电性薄膜的制造方法
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