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一种利用化学转化膜技术的铝箔腐蚀工艺 

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申请/专利权人:乌鲁木齐众荣电子材料科技有限公司;新疆众和股份有限公司

摘要:本发明公开了一种利用化学转化膜技术的铝箔腐蚀工艺,属于铝箔腐蚀技术领域。该工艺针对厚度80‑150μm的铝箔光箔进行处理,处理过程依次为:1预处理;2化学转化膜制备:铝箔采用化学转化液进行处理,化学转化液为氢氟酸和硫酸的水溶液;3一级发孔腐蚀在铝箔正反表面均形成均匀分布的腐蚀发孔;4中处理腐蚀:采用溶液B溶解铝箔蚀孔中铝粉颗粒和反应产物;5二级扩孔腐蚀:放进溶液C中进行二级直流加电扩孔腐蚀;6后处理;7干燥。该工艺可制备出规格为510‑730V的铝腐蚀箔,所述腐蚀箔的孔洞数量为2.2‑3.0×107个cm2,平均孔径为0.80‑1.15μm。

主权项:1.一种利用化学转化膜技术的铝箔腐蚀工艺,其特征在于:该工艺针对厚度范围为80-150μm的铝箔光箔进行腐蚀,具体包括如下步骤:1预处理:对铝箔光箔进行表面处理,以清除表面油污,提高光箔表面活性;2化学转化膜制备:经步骤1预处理的铝箔采用化学转化液进行处理,从而在铝箔表面生成一层化学转化膜;所述化学转化液为氢氟酸和硫酸的水溶液,并通过氨水将化学转化液的pH值调节至3.00-5.50;3一级发孔腐蚀:将经步骤2处理后的铝箔送入腐蚀槽内的溶液B中进行电化学腐蚀,在铝箔正反表面均形成均匀分布的腐蚀发孔;4中处理腐蚀:采用溶液B溶解铝箔蚀孔中铝粉颗粒和反应产物;5二级扩孔腐蚀:将经过步骤4处理后的铝箔进行水洗,然后放进溶液C中进行二级直流加电扩孔腐蚀,所述的二级直流扩孔腐蚀中施加电流的时间为200-500s,施加电流的密度为50-500mAcm2;温度为70-90℃;6后处理:将经过步骤5处理的铝箔进行水洗,然后放进入溶液D中进行浸泡处理,所述溶液D为质量百分比浓度为2-5%的硝酸溶液;7干燥:将经过步骤6处理的铝箔用纯水清洗干净后,然后烘干、卷收腐蚀箔。

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