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一种二维材料光波导集成的光探测器及其制备方法 

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申请/专利权人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

摘要:本发明涉及一种二维材料光波导集成的光探测器及其制备方法,涉及光探测器技术领域,具体包括:衬底;在衬底上生长或者机械剥离的第一二维材料层;在第一二维材料层上定向转移的第二二维材料层;还包括一对金属电极,金属电极分别位于第一二维材料层和第二二维材料层上,或者分别位于第二二维材料层的两端。本发明的光探测器不仅可以实现快速、宽带光信号探测,而且具有小尺寸、高集成度的特点,有望应用于集成化的宽带光传输系统。

主权项:1.一种二维材料光波导集成的光探测器,其特征在于,包括:衬底1;在衬底1上生长或者机械剥离的第一二维材料层2;在第一二维材料层2上定向转移的第二二维材料层3,第二二维材料层3与第一二维材料层2之间形成异质结,并且第二二维材料层3上除异质结之外的其余部分均与衬底1接触;还包括一对金属电极4,金属电极4分别位于第一二维材料层2和第二二维材料层3上,或者分别位于第二二维材料层3的两端。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种二维材料光波导集成的光探测器及其制备方法

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