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申请/专利权人：山东大学
摘要：本发明公开了一种光学散射判别低维材料关键尺寸的方法及系统，包括：控制光源以设定角度倾斜入射到所观测的低维材料及衬底上，设定角度能够使得位于低维材料之上的光线接收设备仅能够接收到低维材料散射的光线；将接收到的散射光线转换为光学图像；获取光学图像中每个像素的亮度值，建立位置和亮度的对应关系；基于位置和亮度的对应关系计算对比度，基于预先标定的对比度与低维材料关键尺寸的对应关系，确定低维材料的关键尺寸。本发明相比于传统的利用光学反射检测低维材料关键尺寸的方法，低维材料与衬底的对比度可达到传统光学反射法的10倍以上，对比效果明显，受衬底影响较小，可以实现对衬底上低维材料关键尺寸的准确测量。
主权项：1.一种光学散射判别低维材料关键尺寸的方法，其特征在于，包括：控制光源以设定角度倾斜入射到所观测的低维材料及衬底上，所述设定角度能够使得位于低维材料之上的光线接收设备仅能够接收到低维材料散射的光线；将接收到的散射光线转换为光学图像；获取光学图像中每个像素的亮度值，建立位置和亮度的对应关系；将低维材料的亮度与衬底亮度的差值作为对比度，其中，低维材料的亮度为低维材料区域亮度最大值；衬底亮度为低维材料以外区域的亮度平均值；基于位置和亮度的对应关系计算对比度，利用预先标定的对比度与低维材料关键尺寸的对应关系，确定低维材料的关键尺寸。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东大学 一种光学散射判别低维材料关键尺寸的方法及系统
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