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申请/专利权人：先导薄膜材料(安徽)有限公司
摘要：本发明涉及溅射靶材技术领域，公开了一种含水道的溅射靶材铜背板焊接工艺，包括如下步骤：步骤1：将水道盖板安装在背板的凹槽上；步骤2：采用第一搅拌针以点焊的方式，主轴的转速为500～800rmin，将盖板固定在背板上，每个点焊位置之间的距离为40～60mm；步骤3：采用第二搅拌针以轴肩下压的方式沿接缝移动，将盖板焊接在背板上，并完全覆盖步骤2的焊缝熔深和焊缝熔宽。本发明点焊时，采用第一搅拌针，通过控制每个点焊位置之间的距离以及主轴转速，在保证效率的同时，使盖板和背板连接得更加稳固，不需要进行预焊接，并且在下压焊接时，采用第二搅拌针，以完全覆盖点焊的焊缝熔深和焊缝熔宽的方式进行焊接，保证焊接强度和气密性。
主权项：1.一种含水道的溅射靶材铜背板焊接工艺，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：将水道盖板安装在背板的凹槽上，并将背板装夹到外设的搅拌摩擦焊设备上；步骤2：在盖板和背板的接缝处，采用第一搅拌针以点焊的方式，主轴的转速为500～800rmin，将盖板固定在背板上，每个点焊位置之间的距离为40～60mm；步骤3：在盖板和背板的接缝处，采用第二搅拌针以轴肩下压的方式沿接缝移动，将盖板焊接在背板上，并完全覆盖步骤2的焊缝熔深和焊缝熔宽。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(安徽)有限公司 一种含水道的溅射靶材铜背板焊接工艺
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