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申请/专利权人：中磁(浙江)工业科技有限公司
摘要：本申请揭示了一种磁悬浮真空泵及控制方法，第一轴向位移传感部对应驱动轴设置，且安装于第一磁轴承；第二轴向位移传感部对应驱动轴设置，且安装于第二磁轴承；第一径向位移传感部对应三元流叶轮设置且用于获得三元流叶轮在驱动轴长度方向的位移；本发明提供的磁悬浮真空泵及控制方法，在第一磁轴承和第二磁轴承的位置处，直接设置第一轴向位移传感部与第二轴向位移传感部，此时第一轴向位移传感部与第二轴向位移传感部获得的信息参数，准确反映轴向磁轴承部位置处的情况；同时通过第一径向位移传感部直接感测三元流叶轮在驱动轴长度方向的运动，那么不存在转换或者其他的计算，提供更加直接和可靠的信息。
主权项：1.一种磁悬浮真空泵，其特征在于，包括：驱动轴（100），长度方向的一端为输出端，输出端连接外部的三元流叶轮（200）；轴向磁轴承部，对应驱动轴（100）的外周设置用于在径向上与驱动轴（100）作用，轴向磁轴承部包括在驱动轴（100）长度方向上间隔设置的第一磁轴承（310）和第二磁轴承（320），其中，第一磁轴承（310）设置于输出端，第二磁轴承（320）远离输出端设置；永磁电机部（400），在驱动轴（100）长度方向上设置于第一磁轴承（310）和第二磁轴承（320）之间；第一轴向位移传感部，对应驱动轴（100）设置，且安装于第一磁轴承（310）；第二轴向位移传感部，对应驱动轴（100）设置，且安装于第二磁轴承（320）；第一径向位移传感部（500），对应三元流叶轮（200）设置且用于获得三元流叶轮（200）在驱动轴（100）长度方向的位移；径向磁轴承组件（600），对应驱动轴（100）设置且用于在长度方向上与驱动轴（100）作用；控制器，接收第一轴向位移传感部、第二轴向位移传感部和第一径向位移传感部（500）的数据，并控制轴向磁轴承部和径向磁轴承组件（600）的工作。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中磁(浙江)工业科技有限公司 磁悬浮真空泵及控制方法
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