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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本公开提供基板定位装置、基板定位方法及接合装置，提高基板的定位精度。基板定位装置具备用于保持基板的保持部、以及用于使保持部旋转的旋转机构。旋转机构具备旋转轴部、轴承部、基底部、第一驱动部、衰减机构、锁定机构以及第二驱动部。旋转轴部固定于保持部。轴承部以不与旋转轴部接触的状态支承轴承部。基底部将轴承部固定。第一驱动部用于使旋转轴部旋转。衰减机构包括固定部和能够相对于固定部滑动的可动部，固定部连接于基底部和旋转轴部中的一方，可动部连接于基底部和旋转轴部中的另一方，衰减机构用于产生针对旋转轴部与基底部的相对动作的衰减力。锁定机构用于将可动部固定。第二驱动部用于对可动部被固定了的衰减机构进行微量驱动。
主权项：1.一种基板定位装置，具备：保持部，其用于保持基板；以及旋转机构，其用于使所述保持部旋转，其中，所述旋转机构具备：旋转轴部，其固定于所述保持部；轴承部，其以不与所述旋转轴部接触的状态支承所述旋转轴部；基底部，其将所述轴承部固定；第一驱动部，其用于使所述旋转轴部旋转；衰减机构，其包括固定部和能够相对于所述固定部滑动的可动部，所述固定部连接于所述基底部和所述旋转轴部中的一方，所述可动部连接于所述基底部和所述旋转轴部中的另一方，所述衰减机构用于产生针对所述旋转轴部与所述基底部的相对动作的衰减力；锁定机构，其用于将所述可动部固定；以及第二驱动部，其用于对所述可动部被固定了的所述衰减机构进行微量驱动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 基板定位装置、基板定位方法以及接合装置
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