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申请/专利权人：光科芯图(北京)科技有限公司
摘要：本发明涉及集成电路制作技术领域，特别涉及一种等离子体回路产生电路、等离子体回路形成方法及等离子体箍缩系统装置。所述等离子体回路产生电路包括预脉冲电路、主脉冲电路、耦合单元和电压输出端；耦合单元包括磁芯耦合的第一线圈和第二线圈，预脉冲电路与主脉冲电路并联后与第一线圈的串联连接，第二线圈的两端分别为电压输出端；预脉冲电路用于提供预脉冲电流以对装置中气体电离并产生电子和等离子体，主脉冲电路对耦合单元提供高压脉冲，等离子体于高压脉冲下通过电子加速形成等离子体回路。本发明还提供一种等离子体回路形成方法及等离子体箍缩系统装置。解决了现有箍缩系统装置中产生等离子体回路形成困难的问题。
主权项：1.一种等离子体回路产生电路，用于对等离子体箍缩系统装置中的气体进行电离，其特征在于：所述等离子体回路产生电路包括预脉冲电路、主脉冲电路、耦合单元和电压输出端；所述耦合单元包括磁芯耦合的第一线圈和第二线圈，所述预脉冲电路与所述主脉冲电路并联后与所述第一线圈的串联连接，所述第二线圈的两端分别为电压输出端；所述预脉冲电路用于提供预脉冲电流以对装置中气体电离并产生电子和等离子体，所述主脉冲电路对耦合单元提供高压脉冲，所述等离子体于所述高压脉冲下通过所述电子加速形成等离子体回路。
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百度查询： 光科芯图(北京)科技有限公司 一种等离子体回路产生电路、等离子体回路形成方法及等离子体箍缩系统装置
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