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申请/专利权人：湖南大学
摘要：本申请提供一种非均匀绝缘层双向接触式压力传感器及其设计方法，属于压力传感器技术领域。本申请将绝缘层的厚度设置为依照径向距离进行变化的值，相比于传统技术中固定厚度的绝缘层，可以提高线性度。
主权项：1.一种非均匀绝缘层双向接触式压力传感器，其特征在于，包括：支撑框架，围成两端开口的圆柱形腔室；两个柔性电极，分别覆盖并完全封闭所述腔室的两端开口，所述腔室内设置为真空状态，两个所述柔性电极间隔形成电容器，每个所述柔性电极均用于感知压力产生形变，所述柔性电极包括与所述腔室正对设置并用于感知压力产生形变的形变区，所述形变区位于所述腔室内的一面贴设有绝缘层；所述绝缘层的厚度满足下式：toxr＝Q×ra-r5；式中，toxr表示所述绝缘层在径向距离r处的厚度；Q表示只与传感器的尺寸、材料和设计参数K有关的常数；a表示所述形变区的半径；其中： 式中，ε0表示真空介电常数；εox表示所述绝缘层的相对介电常数；D表示所述柔性电极的抗弯刚度；K表示接触区域电容Ct与压力P的线性比值；h表示所述柔性电极的厚度；g表示所述腔室的高度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖南大学 非均匀绝缘层双向接触式压力传感器及其设计方法
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