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申请/专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要：本发明公开了一种基于真空互联系统的轻量元素精准定位分析方法。所述方法包括：在真空互联系统中，将化合物微晶样品传输至聚焦离子束显微镜中进行聚焦离子束切割，获得多个薄片样品；采用角度能够旋转的样品载体承载薄片样品，并旋转至其法向与水平面垂直；通过真空互联系统将样品载体和薄片样品传递至飞行时间二次离子质谱仪，进行轻量元素的分析。本发明所提供的轻量元素精准定位分析方法一方面避免了不同晶面与二次离子质谱仪分析器的夹角相差较大使不同晶面相同元素的探测灵敏度存在差异，能够直接对比不同晶面的轻质元素的含量；另一方面，还避免了环境因素明显地对轻质元素碳氢氧的检测分析产生的影响。
主权项：1.一种基于真空互联系统的轻量元素精准定位分析方法，其特征在于，包括：在真空互联系统中输入化合物微晶样品，并传输至聚焦离子束显微镜中进行聚焦离子束切割，获得暴露不同角度的晶面的多个薄片样品；采用角度能够旋转的样品载体承载所述薄片样品，并基于所述薄片样品的原始角度将所述薄片样品旋转至其法向与水平面垂直；经过所述真空互联系统将所述样品载体和薄片样品传递至飞行时间二次离子质谱仪，进行轻量元素的分析。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 基于真空互联系统的轻量元素精准定位分析方法
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