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申请/专利权人：烽火藤仓光纤科技有限公司;烽火通信科技股份有限公司
摘要：本申请公开了一种微波等离子体沉积组件及微波等离子体沉积装置。本申请涉及微波沉积技术领域，所述微波等离子体沉积组件，包括加热炉、玻璃反应管以及谐振腔，所述玻璃反应管，设于所述加热炉内，所述谐振腔，套设于所述玻璃反应管外，呈环状腔体设置，其中，所述谐振腔在所述玻璃反应管的径向上的环状截面中，内环和外环均为方形。通过谐振腔在所述玻璃反应管的径向上呈方形的环状设置，使得微波分布由椭圆形变为方形，激发的等离子体分布的形状也变成方形，等离子体在轴向和径向上分布更均匀，提高了等离子分布的均匀性，减少了多模光纤折射率分布幂指数α值的波动，同时减少了单模光纤预制棒相对折射率的波动。
主权项：1.一种微波等离子体沉积组件，其特征在于，包括：加热炉；玻璃反应管，设于所述加热炉内；以及谐振腔，套设于所述玻璃反应管外，呈环状腔体设置；其中，所述谐振腔在所述玻璃反应管的径向上的环状截面中，内环和外环均为方形。
全文数据：
权利要求：
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