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申请/专利权人：西安交通大学
摘要：本发明公开了一种用于气流瞬态测温的探针型薄膜热电偶及其制备方法，采用陶瓷基底拼接柔性薄膜热电偶的结构解决现有陶瓷基薄膜热电偶用于气流瞬态温度测量时响应时间过长的技术问题，包括两个陶瓷基底以及柔性基底上的正极敏感层薄膜、负极敏感层薄膜。采用丝网印刷、磁控溅射等技术在柔性基底上制备两种不同材料的热电极敏感层薄膜，并进行引线。将柔性传感器夹在两个陶瓷基底中间，利用陶瓷胶进行密封与粘结固定，拼接成探针型气流总温传感器的形式，制备的探针型薄膜热电偶可用于高温气流的温度测量，减少薄膜与基底间的传热、换热时间，提高传感器测量气流瞬态温度时的响应速度。
主权项：1.一种用于气流瞬态测温的探针型薄膜热电偶，其特征在于，包括两个对接的陶瓷基底1，两个陶瓷基底1之间设置有柔性基底3，柔性基底3的表面设置有正极敏感层薄膜4和负极敏感层薄膜5，所述正极敏感层薄膜4和负极敏感层薄膜5的一端通过连接补偿导线引出热电势，正极敏感层薄膜4与负极敏感层薄膜5的另一端相互搭接形成热结点感温区域6；所述热结点感温区域6位于陶瓷基底外。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安交通大学 一种用于气流瞬态测温的探针型薄膜热电偶及其制备方法
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