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申请/专利权人:EV集团E·索尔纳有限责任公司
摘要:本发明涉及一种用于确定第一基板2与第二基板4之间的间隙3中的结合波的方向的测量装置。此外,本发明涉及一种对应方法。
主权项:1.一种用于确定结合波在第一基板2与第二基板4之间的间隙3中的走向的测量装置1,其包括:-至少一个发射器7,所述至少一个发射器7放置在所述间隙3的外围边缘3u处,用于沿着通过所述间隙3伸展的信号路径以电磁波的形式发出信号9,-至少一个接收器8、8',所述至少一个接收器8、8'放置在该外围边缘3u处,用于接收所述信号路径的所述信号9,所述信号9由所述至少一个发射器7通过所述间隙3发送,且在结合之前和或在所述结合期间能被改变,和-影响构件,用于取决于所述结合波的走向而影响所述结合波,其中,平行于要结合的所述第一基板2的基板面和所述第二基板4的基板面中的至少一个,由所述至少一个发射器7将电磁辐射作为所述信号9发送到所述间隙3中,并且其中由所述至少一个接收器8、8'测量沿着要结合的所述第一基板2的基板面和所述第二基板4的基板面中的至少一个的传输和测量所述间隙3处的传输,以测量要结合的所述基板面的横向边界。
全文数据:
权利要求:
百度查询: EV集团E·索尔纳有限责任公司 确定结合波的走向的测量装置及方法
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