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申请/专利权人：陕西电器研究所
摘要：本发明涉及一种爆炸箔及其批量化制备方法，属于点火起爆装置和微电子机械技术领域。所述爆炸箔为由下向上依次由Ti膜、Al膜、Ni膜、Cu膜和Au膜组成的复合膜；所述Ti膜的厚度为5～200nm，Al膜的厚度为100～300nm、Ni膜的厚度为100～300nm、Cu膜的厚度为1000～5000nm，Au膜的厚度为5～100nm；所述爆炸箔以蓝宝石晶圆为衬底，采用匀胶光刻和磁控溅射镀膜工艺在晶圆上由下向上依次沉积Ti、Al、Ni、Cu、Au膜，最后通过激光切割划片并在衬底上加工通孔，得到沉积有所述爆炸箔的单个晶圆；全过程采用半导体制备工艺，可批量化生产，提高生产效率，降低成本并提高爆炸箔的精度。
主权项：1.一种爆炸箔，其特征在于：所述爆炸箔为由下向上依次由Ti膜、Al膜、Ni膜、Cu膜和Au膜组成的复合膜；其中，所述Ti膜的厚度为5nm～200nm，Al膜的厚度为100nm～300nm、Ni膜的厚度为100nm～300nm、Cu膜的厚度为1000nm～5000nm，Au膜的厚度为5nm～100nm；所述爆炸箔的电阻值范围为30mΩ～50mΩ。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 陕西电器研究所 一种爆炸箔及其批量化制备方法
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