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申请/专利权人：苏州英谷激光科技股份有限公司
摘要：本发明公开了用于光纤光栅刻写的分体式深紫外固体激光器及方法，包括分体设置的电源控制箱和激光系统，激光系统包括半导体种子源、多通多级放大模块、倍频模块及分光模块，所述倍频模块包括二倍频、三倍频、五倍频及换点模块，分光模块包含设于所述五倍频输出激光的光路上的楔形镜；方法包括由所述半导体种子源发射的1064nm激光，由多通多级放大模块输出1064nm激光进入倍频模块，和频出213nm激光。本方案最终可得到得到光束质量＜1.3、光斑圆度＞92%的400mW深紫外213nm激光，增大了调节范围和激光输出稳定性，既保证了有足够多的参数供刻写光纤光栅时调节，也保证了光栅刻写时光纤光栅的一致性。
主权项：1.一种用于光纤光栅刻写的分体式深紫外固体激光器，其特征在于：所述分体式深紫外固体激光器包括分体设置的电源控制箱和激光系统；所述电源控制箱中具有电源、电路板及风扇，由所述电源控制箱为激光系统供电，所述电路板上设有控温模块、电光开关；所述激光系统包括半导体种子源、多通多级放大模块、倍频模块及分光模块；所述半导体种子源发射的光源经一级光纤预放大件进入多通多级放大模块，由多通多级放大模块输出1064nm激光进入倍频模块；所述倍频模块包括二倍频、三倍频、五倍频及换点模块，所述二倍频、三倍频、五倍频及五倍频依次光路连接，由多通多级放大模块输出的1064nm激光进入二倍频后输出532nm激光，然后用1064nm激光和532nm激光经三倍频和频出355nm激光，再将532nm和355nm激光经五倍频和频出213nm激光；所述换点模块与所述五倍频配合连接，由所述换点模块使所述五倍频调节换点；所述分光模块包含设于所述五倍频输出激光的光路上的楔形镜，由所述楔形镜将光路上的1064nm激光、532nm激光以及213nm激光进行分光以得到213nm激光。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州英谷激光科技股份有限公司 用于光纤光栅刻写的分体式深紫外固体激光器及方法
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