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申请/专利权人：江苏晶隆科技有限公司
摘要：一种合成超纯石英砣的方法及设备，涉及玻璃生产技术领域，包括以下步骤：将高纯度硅盐前体通入蒸发装置中对硅盐前体进行蒸发气化；将气化后的硅盐前体通入反应熔炉内；将氢气和氧气分别通入燃烧器内进行燃烧，所述气化的硅盐前体与氢气及氧气在高温条件下发生反应，生成二氧化硅及尾气；收集二氧化硅支撑所需的石英砣，收集尾气进行尾气处理并回收利用；避免对氯化氢尾气不完全处理的情况，从而降低对环境的压力，增加生产的安全性能。
主权项：1.一种合成超纯石英砣的方法，其特征在于：包括以下步骤：将高纯度硅盐前体通入蒸发装置中对硅盐前体进行蒸发气化；将气化后的硅盐前体通入反应熔炉内；将氢气和氧气分别通入燃烧器内进行燃烧，所述气化的硅盐前体与氢气及氧气在高温条件下发生反应，生成二氧化硅及尾气；收集二氧化硅支撑所需的石英砣，收集尾气进行尾气处理并回收利用。
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