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申请/专利权人：江苏亨芯石英科技有限公司

摘要：本发明涉及一种高均匀石英砣的热处理方法及生产装置，包括酸洗高纯度合成石英砣，在石英砣两端均焊接石英靶棒，并将石英砣放置在石英筒的筒口；控制石英砣匀速的从石英筒的筒口经设定的第一低温区运动至设定的高温区，再进入设定的第二低温区内进行热处理；石英砣的顶端通过第二低温区后，停止高温区、第一低温区和第二低温区的加热，并将石英砣匀速上升至石英筒的筒口；待石英砣冷却后，取下包含石英靶棒的石英砣，再将含石英靶棒的石英砣整体倒置，再重复进行热处理过程。本发明可以提高石英砣的光学均匀性，保证材料较低的应力双折射，且热处理过程材料不受污染，有效降低高纯度石英原料的浪费，也避免因杂质污染而影响材料的光学均匀性。

主权项：1.一种高均匀石英砣的生产装置，其特征在于，利用高均匀石英砣的热处理方法来改善石英砣的光学均匀性，包括：牵引部件，所述牵引部件包括支架，所述支架两端分别连接有上牵引和下牵引，所述上牵引通过石英砣连接所述下牵引，所述石英砣两端各焊接一个石英靶棒，所述上牵引和所述下牵引均通过石英靶棒连接所述石英砣；控温部件，所述控温部件包括炉壳，所述炉壳固定于支架，所述炉壳内套设有中心筒，所述炉壳和所述中心筒之间布设有控温区，所述中心筒内套设有石英筒，所述石英砣悬置于所述石英筒内；其中所述控温区包括高温区和设置所述高温区两端的第一低温区和第二低温区，所述第一低温区靠近所述上牵引；所述上牵引和所述下牵引内均设有卡爪，所述石英靶棒卡接在所述卡爪内；所述石英筒内设置有高温涂层，所述石英筒两端分别密封设有石英环，所述石英环设有用于穿设所述石英靶棒的穿设孔；所述控温区内设有第一加热线圈、第二加热线圈和第三加热线圈，所述第一加热线圈与所述第一低温区对应设置，所述第二加热线圈与所述高温区对应设置，所述第三加热线圈与所述第二低温区对应设置；所述炉壳上端设有第一端盖，所述第一端盖上设有第二端盖，所述第一端盖和所述第二端盖上均设置有用于穿设所述石英筒的上预留孔，且所述第二端盖上设有用于通入保护气体的通孔；所述炉壳底部安装有底板，所述底板上设有用于穿设所述石英筒的下预留孔，所述上预留孔和所述下预留孔为同轴设置；其中，高均匀石英砣的热处理方法包括：S1:酸洗高纯度合成石英砣，在石英砣两端均焊接石英靶棒，并将石英砣放置在石英筒的筒口；S2:控制石英砣匀速的从石英筒的筒口经设定的第一低温区运动至设定的高温区，再进入设定的第二低温区内进行热处理；S3:石英砣的顶端通过第二低温区后，停止高温区、第一低温区和第二低温区的加热，并将石英砣匀速上升至石英筒的筒口；S4:待石英砣冷却后，取下包含石英靶棒的石英砣，再将包含石英靶棒的石英砣，整体倒置，再重复步骤S2至步骤S3进行热处理过程。

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