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压电驱动与柔性机构相结合缓解划痕仪电机迟滞的方法 

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申请/专利权人:吉林大学

摘要:本发明公开了一种压电驱动与柔性机构相结合缓解划痕仪电机迟滞的方法,包括:设计并制造一套集成压电驱动和柔性机构的精密力补偿系统;将精密力补偿系统安装在z轴电机加载平台的输出端;测试压头安装在精密力补偿系统的输出端;恒载荷划痕测试初始阶段,z轴电机加载平台以恒速向下施加载荷;达到预定载荷时,开始划痕测试,此时z轴电机加载平台停止运动,精密力补偿系统负责对轴向力进行快速补偿;划痕至预定长度后,z轴电机加载平台执行卸载操作。通过采用本发明的方法,可有效缓解由于滚珠丝杠轴向传动的微米级间隙和电机毫秒级响应时间所引起的轴向力补偿迟滞问题。从而实现对轴向力的精确补偿,提高划痕测试的稳定性。

主权项:1.压电驱动与柔性机构相结合缓解划痕仪电机迟滞的方法,其特征在于:精密力补偿系统集成了压电驱动和柔性机构,该系统既保留了压电驱动快速响应和精确控制的驱动特征,又保留了柔性机构弹性变形的能力;通过将精密力补偿系统安装在z轴电机加载平台的输出端与压头之间,极大地缓解了划痕仪电机迟滞的问题;在测试过程中,精密力传感器能够实时监测并捕捉到轴向力的微小变化,并将这些数据反馈给精密力补偿系统;接收到反馈信息后,柔性机构能够迅速产生相应的微小变形,而压电驱动模块则根据实时数据,通过程序控制进行动态调整;这种巧妙的配合确保了轴向力的精确补偿,从而显著提高了测试数据的准确性和可靠性;所述方法具体包括以下步骤:步骤一、根据仪器所需的使用要求设计并制造一套精密力补偿系统,该系统由压电驱动和柔性机构所组成;步骤二、将精密力补偿系统安装在z轴电机加载平台的输出端,以实现对力的精确调控;步骤三、测试压头安装在精密力补偿系统的输出端,用于对材料进行划痕测试;步骤四、恒载荷划痕测试的初始阶段,z轴电机加载平台以恒定速度向下施加载荷;步骤五、达到预定载荷时,开始进入划痕阶段,此时z轴电机加载平台停止运动,精密力补偿系统负责对轴向力进行快速且精确的补偿;步骤六、当划痕达到预定长度后,z轴电机加载平台执行卸载操作,划痕测试完成,整个测试流程结束。

全文数据:

权利要求:

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