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申请/专利权人：江西磐盟半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开一种感应加热高纯锑掺杂设备，涉及掺杂设备领域。该感应加热高纯锑掺杂设备包括单晶生长器，单晶生长器的内部设置有坩埚，单晶生长器的顶端设置有第一管体，第一管体的底端连接有第二管体，第一管体的内部固定安装有固定板，固定板的顶部端面开设有多组贯穿的通孔。该感应加热高纯锑掺杂设备通过设置的固定板与多组密封板的相互配合，能够调节蒸汽进入到第一管体内部的蒸汽量，从而调节高纯锑与单晶原料的反应效率，能够提高单晶原料与高纯锑反应的质量，使一次长晶成功率提高，符合客户电性参数产品的入档良率提高，大幅降低了材料浪费程度，产能效率得到有效提升。
主权项：1.一种感应加热高纯锑掺杂设备，包括单晶生长器（1），所述单晶生长器（1）的内部设置有坩埚（101），所述单晶生长器（1）的顶端设置有第一管体（2），所述第一管体（2）的底端连接有第二管体（201），其特征在于，所述第一管体（2）的内部固定安装有固定板（3），所述固定板（3）的顶部端面开设有多组贯穿的通孔（305），所述固定板（3）的顶端转动连接有密封板（301），所述密封板（301）具有对通孔（305）进行密封的作用，多组所述密封板（301）的顶端设置有用于调节的调节转轴（303）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江西磐盟半导体科技有限公司 一种感应加热高纯锑掺杂设备
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