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申请/专利权人：哈尔滨工业大学;哈工大郑州研究院
摘要：一种应用于曲面膜层厚度和均匀性检测的衬底快速拆装装置，涉及一种应用于曲面膜层厚度和均匀性检测的拆装装置。本实用新型在铝合金曲面罩的外壁上各个方向均匀设置了多个正方形衬底卡槽，解决了目前测量点位不均匀的技术问题；镀膜圆孔设计成被掩膜条均分成两个半圆形的镀膜孔，掩膜条代替常规胶带做掩膜，可以避免撕扯胶带对膜层的破坏；装置内壁进行了倒角设计，最大程度的降低镀膜过程中台阶的掩膜边缘效应；本实用新型用铝合金曲面罩代替整流罩，能够更好的节约成本，且精细的结构设计能够镀膜后快速进行后续测量；衬底拆卸孔的设计能够快速拆卸衬底，节约操作时间，且不伤膜层；正方形衬底卡槽适用于多种设备的曲面工况，普适性强。
主权项：1.一种应用于曲面膜层厚度和均匀性检测的衬底快速拆装装置，其特征在于在铝合金曲面罩1的外壁上均匀设置多个向内凹的正方形衬底卡槽1-1，在正方形衬底卡槽1-1中对称设置两个半圆形的镀膜孔1-2，两个半圆形的镀膜孔1-2的直径边相邻且平行；在两个半圆形的镀膜孔1-2的外圈设置一圈倒角1-5且倒角1-5设置在铝合金曲面罩1的内壁上使得镀膜孔1-2的上端直径小于下端；正方形衬底卡槽1-1中还设置有一个衬底拆卸孔1-3。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 哈尔滨工业大学 哈工大郑州研究院 一种应用于曲面膜层厚度和均匀性检测的衬底快速拆装装置
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