龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：三星电子株式会社
摘要：一种图案校正方法，包括：从数据库获取包括全拍照坐标和未对准值的全拍照数据；针对全拍照数据，基于悬臂梁分析方法来计算全拍照数据的变形系数；基于全拍照数据，沿在位线方向上的第一轴提取第一坐标数据，并且沿在字线方向上的第二轴提取第二坐标数据；基于第一坐标数据和第二坐标数据对全拍照数据进行分类；从全拍照数据中去除异常值。
主权项：1.一种图案校正方法，包括：从数据库获取包括全拍照坐标和未对准值的全拍照数据；针对所述全拍照数据，基于悬臂梁分析来确定所述全拍照数据的变形系数；基于所述全拍照数据，沿在位线方向上的第一轴提取第一坐标数据，并且沿在字线方向上的第二轴提取第二坐标数据；基于所提取的第一坐标数据和所提取的第二坐标数据，对所述全拍照数据进行分类；从所述全拍照数据中去除异常值；基于所述第一坐标数据和所述第二坐标数据，通过以下来训练用于预测未对准值的图案预测模型：将预测的未对准值设置为输出值，以及将所述第一坐标数据、所述第二坐标数据、所述未对准值和所述全拍照数据的所述变形系数设置为输入值；从所述数据库获取目标全拍照数据；针对所述目标全拍照数据，使用所述图案预测模型从所述目标全拍照数据中提取特征向量；基于所述特征向量来检测所述目标全拍照数据的目标未对准值；以及基于所述目标全拍照数据的所述预测的未对准值来确定针对所述目标全拍照数据的校正值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三星电子株式会社 用于半导体器件的图案校正设备、图案校正方法和图案形成方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号