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申请/专利权人:株式会社东进世美肯
摘要:本发明涉及感光性树脂组合物、显示器、及显示器的图案形成方法,该感光性树脂组合物包含:a通过使不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物、含环氧基不饱和化合物和烯属不饱和化合物共聚而得的丙烯酸共聚物;b共聚物以a、b和c的摩尔比包含化学式1至3所示的重复单元;c1,2‑醌二叠氮化合物;及d溶剂。本发明感光性树脂组合物具有优异的分辨率、光刻工艺裕度和耐热性,且敏感度和穿透性优异,提高粘结力等。化学式1至3中,a、b和c表示各单体间的摩尔比,a为1至10的整数,b和c各自独立地或同时为0至9的整数,a+b+c=10,n为1至10的整数,R为H或CH3。
主权项:1.一种感光性树脂组合物,包含:a100重量份的通过使ⅰ5重量份至40重量份的不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物、ⅱ10重量份至70重量份的含环氧基不饱和化合物和ⅲ5重量份至70重量份的烯属不饱和化合物共聚而得到的丙烯酸共聚物;b5重量份至100重量份的包含由下述化学式1和3表示的重复单元的下述化学式4的共聚物;c5重量份至100重量份的1,2-醌二叠氮化合物;以及d溶剂,使得正型感光性树脂组合物的固形物含量成为10重量%至50重量%,[化学式1] [化学式3] [化学式4] 在所述化学式1、3和4中,a和c表示各单体之间的摩尔比,a为1至9的整数,c为1至9的整数,a+c=10,n为1至10的整数,R为H或CH3。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 株式会社东进世美肯 感光性树脂组合物、显示器、及显示器的图案形成方法
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