买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
申请/专利权人:东曹株式会社
摘要:本发明提供适合于溅射靶的包含具有体心立方结构的金属的金属材料及其制造方法、包含该金属材料的溅射靶及使用该溅射靶的膜的制造方法中的至少任一种。一种金属材料,其包含具有体心立方结构的金属,所述金属的{111}面的取向面积率相对于{001}面、{101}面和{111}面的取向面积率的合计的比例为0.45以上。
主权项:1.一种金属材料,其特征在于,包含具有体心立方结构的金属,所述金属的{111}面的取向面积率相对于{001}面、{101}面和{111}面的取向面积率的合计的比例为0.45以上。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 东曹株式会社 金属溅射靶及其制造方法、以及金属材料及其制造方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。