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压力传感器及其制作方法、压力检测装置 

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申请/专利权人:京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司

摘要:一种MEMS压力传感器及其制作方法、压力检测装置,MEMS压力传感器包括:转接板;设置于转接板一侧的集成电路芯片;设置于转接板背离集成电路芯片一侧的传感器芯片;传感器芯片包括第一电极和第二电极,第一电极设置在转接板和第二电极之间;其中,第二电极包括:与第一电极相对的感压部和环绕感压部的边缘部,边缘部通过键合层固定在转接板上,第一电极、第二电极、键合层和转接板限定出空腔;传感器芯片的第一电极和第二电极均通过转接板与集成电路芯片电连接。

主权项:一种MEMS压力传感器,其中,包括:转接板;设置于所述转接板一侧的集成电路芯片;设置于所述转接板背离所述集成电路芯片一侧的传感器芯片;所述传感器芯片包括第一电极和第二电极,所述第一电极设置在所述转接板和所述第二电极之间;所述第二电极包括:与所述第一电极相对的感压部和环绕所述感压部的边缘部,所述边缘部通过键合层固定在所述转接板上,所述第一电极、所述第二电极、所述键合层和所述转接板限定出空腔;其中,所述传感器芯片的所述第一电极和所述第二电极均通过所述转接板与所述集成电路芯片电连接。

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百度查询: 京东方科技集团股份有限公司 北京京东方光电科技有限公司 压力传感器及其制作方法、压力检测装置

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