龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：迈睿捷(南京)半导体科技有限公司
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种用于涂胶显影烘烤单元排风气流均匀度的设计装置，包括抽风板，所述抽风板端口处通过螺钉固定连接有上盖，所述上盖底壁开设有圆锥面，所述上盖边缘处对称固定连接有安装座，两个所述安装座共同固定连接有上盖，所述上盖与圆锥面的端口处相抵接触，所述通孔沿多孔板的半径方向向外分布，所述抽风板、上盖、多孔板自上而下顺序排列。本发明相对于现有技术，通过提高气流的均匀度和稳定性，实现了对气流的精确控制，提高了产品的质量和一致性，具有显著优越性，解决了现有涂胶显影烘烤单元没有考虑到气流的稳定性，会导致光刻胶的涂覆效果不稳定，影响到产品的一致性的问题，提高了产品的可靠性。
主权项：1.一种用于涂胶显影烘烤单元排风气流均匀度的设计装置，包括抽风板（1），其特征在于：所述抽风板（1）端口处通过螺钉固定连接有上盖（2），所述抽风板（1）与上盖（2）之间留有间隙，所述抽风板（1）与上盖（2）相邻的内壁之间形成有排风腔体（101），所述上盖（2）底壁开设有圆锥面（21），所述上盖（2）边缘处对称固定连接有安装座（3），两个所述安装座（3）共同固定连接有上盖（2），所述上盖（2）与圆锥面（21）的端口处相抵接触，所述多孔板（4）表面有多个通孔（41），所述通孔（41）沿多孔板（4）的半径方向向外分布，所述抽风板（1）、上盖（2）、多孔板（4）自上而下顺序排列。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 迈睿捷(南京)半导体科技有限公司 一种用于涂胶显影烘烤单元排风气流均匀度的设计装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号