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一种具有锯齿状应变Space层的大功率反极性LED及其制备方法 

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申请/专利权人:山东华光光电子股份有限公司

摘要:本发明涉及一种具有锯齿状应变Space层的大功率反极性LED及其制备方法,属于光电子技术领域,包括由下到上依次包括衬底、缓冲层、N型腐蚀截止层、N型欧姆接触层、N型粗化层、N型限制层、N侧锯齿状应变Space层、MQW量子阱有源层、P侧锯齿状应变Space层、P型限制层、过渡层和P型欧姆接触层;N侧锯齿状应变Space层包括L1个厚度为a1nm的组分渐变层;P侧锯齿状应变Space层包括L2个厚度为a2nm的组分渐变层。本发明在量子阱和限制层之间引入锯齿状的应变Space层,Space层的锯齿状能带结构可有效提升LED的光功率及其稳定性。

主权项:1.一种具有锯齿状应变Space层的大功率反极性LED,其特征在于,由下到上依次包括衬底、缓冲层、N型腐蚀截止层、N型欧姆接触层、N型粗化层、N型限制层、N侧锯齿状应变Space层、MQW量子阱有源层、P侧锯齿状应变Space层、P型限制层、过渡层和P型欧姆接触层;所述N侧锯齿状应变Space层包括L1个厚度为a1nm的张应变Al0.25Ga0.25yIn1-yP至压应变Al0.35Ga0.15yIn1-yP的组分渐变层,无故意掺杂;所述P侧锯齿状应变Space层包括L2个厚度为a2nm的压应变Al0.35Ga0.15yIn1-yP至张应变Al0.25Ga0.25yIn1-yP的组分渐变层,无故意掺杂,其中,0.42≤y≤0.6;15≤a1≤300,15≤a2≤300;1≤L1≤20,2≤L2≤20,或者,2≤L1≤20,1≤L2≤20。

全文数据:

权利要求:

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