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压电振动器件的频率调整方法及压电振动器件 

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申请/专利权人:株式会社大真空

摘要:晶体谐振器100中,在第二密封构件30的第一主面301上形成有由基底金属层36a和金属层36b构成的频率调整用金属膜36。晶体谐振器100的频率调整中,通过从第二密封构件30的外部对频率调整用金属膜36照射激光将基底金属层36a加热,而使金属层36b的至少一部分熔化而蒸发并附着在第二激励电极112上。光束的照射从金属层36b的区域外开始。并配置为,在光束的扫描方向上,金属层36b的端部存在于基底金属层36a的端部的内侧。

主权项:1.一种压电振动器件的频率调整方法,是形成有激励电极的振动部由密封构件气密密封的压电振动器件的频率调整方法,其特征在于:在所述密封构件的与所述激励电极相向的主面上,形成有由基底金属层和层叠在其上的金属层构成的频率调整用金属膜;从所述密封构件的外部对所述频率调整用金属膜照射光束,通过使所述光束透射到所述密封构件的内部将所述基底金属层加热,而使所述金属层的至少一部分熔化而蒸发并附着在所述激励电极上,来进行频率调整;所述光束的照射至少从所述金属层的区域外开始;并配置为,在光束的扫描方向上,所述基底金属层的长度大于所述金属层的长度,且所述金属层的端部存在于所述基底金属层的端部的内侧。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社大真空 压电振动器件的频率调整方法及压电振动器件

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