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申请/专利权人：江苏和熠光显科技有限公司

摘要：本发明公开了一种基于激光剥离技术的OLED屏幕加工工艺及加工设备，包括涂布机、蒸镀机、清洗部件及激光加工部件。本发明激光加工部件中的切换式激光头结构采用了不同类型的两个激光器，配合不同类型的聚焦镜，每个激光器对应每个聚焦镜，可以进行切换，使用第一激光器配合第一聚焦镜进行切割，使用第二激光器配合第二聚焦镜进行照射剥离，这样只需一个激光设备即可实现切割和激光剥离的工作，降低了生产成本；本发明在涂布聚酰亚胺薄膜时增加了除尘组件，避免玻璃载体与聚酰亚胺薄膜之间出现颗粒杂质，还设置了清洗部件，采用研磨清洗的方式清洁玻璃载体表面，这样在进行剥离时，不会出现颗粒杂质对激光造成阻挡的现象，保证了剥离的质量。

主权项：1.一种基于激光剥离技术的OLED屏幕加工设备，包括涂布机1、蒸镀机2、清洗部件3及激光加工部件4，其特征在于：所述涂布机1上开设有进料口11，所述进料口11处设置有除尘组件12，所述激光加工部件4包括工作台41，所述工作台41顶面固接第二真空吸附台42，所述工作台41顶面四角处垂直固接四个立柱43，四个所述立柱43顶端设置有三轴移动机构44，所述三轴移动机构44上设置有切换式激光头结构45；所述切换式激光头结构45包括纵方壳451及横方壳452，所述横方壳452水平固接在纵方壳451顶端侧壁，所述纵方壳451内垂直开设第一光路腔453，所述横方壳452内水平开设第二光路腔454，所述第二光路腔454连通第一光路腔453顶部，所述横方壳452远离纵方壳451的端部顶面固接第一激光器456、底面固接第二激光器457，所述第一激光器456及第二激光器457与水平均呈十五度夹角，所述第二光路腔454内部固接梯形块459，所述梯形块459顶面及底面固接两个第一反射镜4510，所述第一光路腔453顶部固接第二反射镜4511，所述纵方壳451上设置有聚焦结构455，所述第一光路腔453内位于聚焦结构455下方位置固接准直镜4512；所述聚焦结构455包括外壳4551，所述外壳4551内开设滑腔4552，所述滑腔4552内水平滑动套接内壳4553，所述纵方壳451侧壁位于外壳4551下方位置水平固接横支板4554，所述横支板4554上固接第二电动推杆4555，所述第二电动推杆4555输出轴端部穿过外壳4551侧壁并固接内壳4553端部，所述外壳4551对应第一光路腔453位置垂直开设通口45547，所述内壳4553上垂直开设第一滑孔4556及第二滑孔4559，所述第一滑孔4556内垂直滑动连接第一滑环4557，所述第一滑环4557内侧固接第一聚焦镜4558，所述第二滑孔4559内垂直滑动连接第二滑环45510，所述第二滑环45510内侧固接第二聚焦镜45511。

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