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申请/专利权人：淮北翌光科技有限公司
摘要：本发明提供了一种镀膜用夹持结构总成及真空镀膜设备，镀膜装备技术领域，包括至少两个环绕基板定位空间设置的夹持单元，每个夹持单元均具有与基板的周向侧面平面贴合的夹持面，每个夹持单元均具有沿垂直于自身夹持面的方向往复移动的自由度。本发明避免了间隙沉积层碎裂后产生膜颗粒掉落导致基板周向受力不均匀的问题，提升边缘镀膜效果，提升原材料的利用率。
主权项：1.一种镀膜用夹持结构总成，其特征在于，包括至少两个环绕基板定位空间8设置的夹持单元1，每个所述夹持单元1均具有与基板9的周向侧面平面贴合的夹持面101，每个所述夹持单元1均具有沿垂直于自身所述夹持面101的方向往复移动的自由度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 淮北翌光科技有限公司 镀膜用夹持结构总成及真空镀膜设备
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