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申请/专利权人：中科仪(南通)半导体设备有限责任公司;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

摘要：本发明公开了一种用于腐蚀性气体腐蚀测试的低真空实验装置，包括真空腔室（1）、排气真空泵（7）、气体循环泵（9）、气体导管（10）、加热器、温度探测器（5）、氟气浓度探测器（4）、真空计（6）和电控阀体（2），温度探测器（5）的探头向内延伸至样品方式区域，用于测量样品周围的实时温度，真空计（6）测量真空腔室（1）内部的真空度（1），电控阀体（2）通过阀体通断配合，实现低真空实验装置的真空保持、气体单向排出及气体内部循环流动，当氟气浓度低于设定数值时，实验装置自动排气、抽真空、补充氟气，氟气浓度及真空度达均达到设定数值后，实验装置开启气体内部循环流动功能，便于腐蚀性气体进行腐蚀测试。

主权项：1.一种用于腐蚀性气体腐蚀测试的低真空实验装置，其特征在于：包括真空腔室（1）、排气真空泵（7）、气体循环泵（9）、气体导管（10）、加热器、温度探测器（5）、氟气浓度探测器（4）、真空计（6）和电控阀体（2），所述真空腔室（1）采用不锈钢材料并制成圆管形状，所述真空腔室（1）的两端使用密封圈和不锈钢盲板法兰进行封堵，所述不锈钢盲板法兰通过不锈钢螺栓进行紧固连接，所述加热器包括缠绕于真空腔室（1）外表面的铜制加热管，所述铜制加热管的外侧使用保温材料进行保温，所述铜制加热管的外侧使用金属挡板进行防护，所述不锈钢盲板法兰包括进气端不锈钢盲板法兰和排气端不锈钢盲板法兰，所述气体导管（10）包括进气不锈钢气体导管和排气不锈钢气体导管，所述进气不锈钢气体导管安装于所述进气端不锈钢盲板法兰，所述进气不锈钢气体导管的前段安装有混气室（3），氟气导管与氮气导管分别与所述混气室（3）连接，氟气浓度探测器（4）安装在所述混气室（3）的后端，用于实时监测流入到真空腔室（1）内的有效氟气浓度，所述排气端不锈钢盲板法兰安装有排气不锈钢气体导管、温度探测器（5）和真空计（6），所述排气真空泵（7）的进气端通过导管一连接气体循环泵（9）的进气端，所述排气真空泵（7）的后端连接废气清洁系统（8），所述气体循环泵（9）通过导管二与混气室（3）连接，所述温度探测器（5）的探头向内延伸至样品方式区域，用于测量样品周围的实时温度，所述真空计（6）测量真空腔室（1）内部的真空度（1），电控阀体（2）通过阀体通断配合，实现低真空实验装置的真空保持、气体单向排出及气体内部循环流动。

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