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一种自动化光学样品泵浦探测的装置及方法 

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申请/专利权人:华中科技大学

摘要:本申请提供了一种自动化光学样品泵浦探测的装置及方法,属于光学测试应用领域,其中方法包括:S1基于激光直写参数对待测样品进行直写,待刻写第n个区域完毕后,光谱探测系统在第n个区域进行光谱测量;S2采用另一组激光直写参数对待测样品的第n+1个区域进行刻写,待刻写第n+1个区域完毕后,光谱探测系统在第n+1个区域进行光谱测量,令n=n+1,转至S1,直至待测样品全部区域激光直写完毕以及光谱测量完毕;本申请同时支持激光直写的显色调控和微纳光谱测试,最终得到多组直写参数与光谱的一一对应关系,激光直写过程与光谱测试整个过程中无需人工操作,实验结果高效自动生成。

主权项:1.一种自动化光学样品泵浦探测的装置,其特征在于,包括:激光器、三轴位移台、透射光源、反射光源、成像系统和光谱探测系统;所述光谱探测系统位于所述三轴位移台的上方,所述透射光源位于待测样品的下方,所述反射光源位于待测样品的上方;所述三轴位移台用于放置待测样品,并带动待测样品移动;所述激光器用于发射激光至待测样品上进行第n+1个区域激光直写;所述透射光源用于提供光束至待测样品并透射,透射光束传输至光谱探测系统中;反射光源用于提供光束至待测样品并反射,反射光束传输至光谱探测系统;所述成像系统用于接收透射光束和反射光束,将待测样品的表面成像,并观测光谱探测系统的光谱测量区域以及激光直写时激光光斑位置;所述光谱探测系统用于对激光直写后的待测样品进行第n个区域光谱测量;其中,激光光斑位置与光谱测量区域不重合;n≥1。

全文数据:

权利要求:

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