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申请/专利权人：芜湖义柏载具精密技术有限公司
摘要：本实用新型公开一种洁净式晶圆载运盒，包括盒体以及片架，片架设置在盒体内，用于存放晶圆，盒体包括支撑部，支撑部凸起于盒体设置，并与片架连接，用以减少片架与盒体的接触面积，通过上述结构设置，因本实用新型的盒体设置有支撑部，当片架放置于盒体中时，片架将与盒体中的支撑部相接触，支撑部对片架起到支撑作用，以使片架与盒体底壁之间形成一定的间隙，以减少片架与盒体的接触面积，综上所述，本实用新型通过减小片架与盒体的接触面积，从而减少了盒体在运输过程中，因片架与盒体相对运动、摩擦而产生的污染颗粒，提高了晶圆载运盒的洁净程度，减小了晶圆被颗粒所污染的风险。
主权项：1.一种洁净式晶圆载运盒，包括盒体1以及片架2，所述片架2设置在所述盒体1内，用于存放晶圆，其特征在于，所述盒体1包括支撑部11，所述支撑部11凸起于所述盒体1设置，并与所述片架2连接，用以减少所述片架2与所述盒体1的接触面积。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芜湖义柏载具精密技术有限公司 一种洁净式晶圆载运盒
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