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施加涂层至莫来石材料表面的方法、具有涂层的莫来石材料和燃气轮机部件 

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申请/专利权人:欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔

摘要:指出一种施加涂层1至莫来石材料3的表面2的方法,具有:借助等离子体化学工艺预处理Sl该莫来石材料3的表面2,在这里,如此激发分子氢,即,出现等离子体活化氢;并且借助PVD法将含氧化铝层4施加S2到莫来石材料3的经过预处理的表面2。还指出一种具有涂层的莫来石材料3和一种具有这种莫来石材料3的燃气轮机部件。

主权项:1.一种施加涂层1至莫来石材料3的表面2的方法,其中,该莫来石材料包括所有包含Al2O3-SiO2的材料,该方法包括:-借助等离子体化学工艺预处理Sl该莫来石材料3的表面2,在这里,如此激发分子氢,即,出现作用于该莫来石材料3的表面2的等离子体活化氢,由此,硅从该莫来石材料3的表面2的含硅相去除,做法是借助泵系统泵出通过来自莫来石材料的等离子体活化氢形成的挥发性Si-H键,由此,该莫来石材料3的经过预处理的表面2基本上具有α-Al2O3,并且-借助反应阴极电火花气化或溅射将含氧化铝层4施加S2到该莫来石材料3的经过预处理的表面2,其中,气化在真空中在可控氧气分压下进行,氧气分压通过氧气流来调节,由此,由氧化铝构成尖峰状结构6并且其尖峰指向含氧化铝层4,其中,该尖峰状结构6在该莫来石材料3和该含氧化铝层4之间的界面处开始。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔 施加涂层至莫来石材料表面的方法、具有涂层的莫来石材料和燃气轮机部件

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