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申请/专利权人：上海市计量测试技术研究院;中国计量大学

摘要：本发明为一种复合型纳米膜厚标准样板及其循迹方法，其特征在于：所述的标准样板包括分设于基底上的第一测量工作区域和第二测量工作区域两个工作区域，所述的第一测量工作区域为几何薄膜结构测量工作区域，所述的第二测量工作区域为物性薄膜结构测量工作区域，两测量工作区域厚度参数相同，所述的第一测量工作区域设有几何结构工作框，所述的工作框四边外周设有一级循迹标识，在工作框内部设有二级循迹标识，工作框中部则设有中心几何薄膜结构，所述的第二测量工作区域设有物性薄膜结构中心圆，其外周布置有带箭头循迹标识，所述物性薄膜结构中心圆的外周还顺序设有第一外环、第二外环和第三外环。

主权项：1.一种复合型纳米膜厚标准样板，其特征在于：所述的标准样板包括分设于基底上的第一测量工作区域和第二测量工作区域两个工作区域，所述的第一测量工作区域为几何薄膜结构测量工作区域，所述的第二测量工作区域为物性薄膜结构测量工作区域，两测量工作区域物性薄膜结构的厚度参数相同，所述的第一测量工作区域设有几何结构工作框，所述的工作框四边外周设有一级循迹标识，在工作框内部设有二级循迹标识，工作框中部则设有中心几何薄膜结构，所述的第二测量工作区域设有物性薄膜结构中心圆，其外周布置有带箭头循迹标识，所述物性薄膜结构中心圆的外周还顺序设有第一外环、第二外环和第三外环，所述第一测量工作区域的几何结构工作框为长和宽均为1.5mm的矩形几何结构工作框，工作框各边框宽度均为0.125mm，所述的一级循迹标识设于工作框上、下、左、右四个位置，位于上方和下方的循迹标识为相同的等腰三角形，二者中心点的连线位于中心工作区域的纵向中轴线上，位于左边和右边的循迹标识为相同的直角三角形，二者斜边中心点的连线位于中心工作区域的横向中轴线上，所述的二级循迹标识为一组以工作框中心点相互对称，且中心线与工作框横向中轴线位于同一直线上的两等边三角形循迹标识，两所述等腰三角形循迹标识的腰长和底长分别为6mm和4mm，两所述直角三角形循迹标识的两直角边长均为5mm，两所述等边三角形循迹标识的边长为100μm，且与中心几何薄膜结构边缘的距离均为150μm，所述中心几何薄膜结构为一长和宽分别为1000μm和100μm的矩形结构，所述带箭头循迹标识设于所述物性薄膜结构中心圆的外周正左方、正右方及正下方，由长和宽分别为15mm和3mm的矩形的箭身及两腰和底分别为10mm和8mm的等腰三角形的箭头组成，所述物性薄膜结构中心圆直径为20mm，所述的第一外环的外径为25mm，所述的第二外环的外径为29mm，所述的第三外环25的外径33mm，三个外环的边框宽度均为1mm。

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