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申请/专利权人：通威太阳能(眉山)有限公司
摘要：一种Poly舟的清洗方法，属于太阳电池制备技术领域；该方法包括：对反应气体进行电离，得到清洗离子；反应气体包括有效气体成分，有效气体成分含有氟元素；采用清洗离子与Poly舟表面的膜层进行反应，完成清洗；其中，清洗离子与Poly舟表面的膜层反应的环境为低压环境，低压环境的气压不大于500Pa。改善了目前采用酸、碱化学药品进行浸泡的方式进行去除，而导致的化学品、水汽、金属离子等在石墨舟上的残留，有效的提高了电池制备的良率，同时环境的压力会影响反应的快慢，气压不大于500Pa的低压环境加速了清洗离子对Poly舟表面膜层的轰击，故Poly舟表面膜层的去除速度越快。
主权项：1.一种Poly舟的清洗方法，其特征在于，所述方法包括：对反应气体进行电离，得到清洗离子；所述反应气体包括有效气体成分，所述有效气体成分含有氟元素，以使所述清洗离子含有氟离子；采用所述清洗离子与Poly舟表面的膜层进行反应，以使所述膜层的结合键断裂并与所述氟离子形成气体来去除所述膜层，完成清洗；其中，所述清洗离子与Poly舟表面的膜层反应的环境为低压环境，所述低压环境的气压不大于500Pa；所述清洗离子与Poly舟表面的膜层反应的温度为160-360℃；所述反应气体还包括辅助气体成分，用以和所述有效气体成分中除氟元素外的其他元素进行反应产生气体；所述反应气体中辅助气体成分的摩尔占比不大于50％；所述有效气体成分的通入流量为2000-13000sccm；所述辅助气体成分的通入流量为1000-5000sccm；所述电离的射频电源功率为30-90KW。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 通威太阳能(眉山)有限公司 一种Poly舟的清洗方法
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