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曲面曲率影响去除率的驻留时间求解方法 

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申请/专利权人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

摘要:本发明涉及光学加工技术领域,尤其涉及一种曲面曲率影响去除率的驻留时间求解方法,首先获得离散化的待加工工件面形残差、去除函数以及抛光轨迹上的驻留点,其次确定待加工工件的理论加工表面,以及在理论加工表面上每个离散面形点和每个驻留点处的单位法向量;根据单位法向量得到每个离散面形点与每个驻留点切平面之间的距离,进而得到对应的驻留法向去除率和去除函数放缩率,以及得到驻留时间求解模型;最后根据驻留时间求解模型建立驻留时间线性方程并对其进行求解,得到最终每个驻留点的驻留时间。本发明将原有的二维平面的驻留时间解算模型提升到了三维空间中,进一步地精确计算去除矩阵元素的数值,提高了计算精度。

主权项:1.一种曲面曲率影响去除率的驻留时间求解方法,其特征在于:具体包括以下步骤:S1:通过干涉仪测量待加工工件的面形,获得所述待加工工件上离散化的面形残差,表示所述待加工工件上的离散面形点的三维空间坐标,表示所述离散面形点的点数;S2:对所述待加工工件的同材料的平面实验工件进行单点加工,并测得所述平面实验工件的离散去除函数分布,其中表示在所述平面实验工件上位置处的去除率,表示所述离散去除函数分布的点数;S3:根据所述待加工工件的面形采样尺寸设置对所述待加工工件抛光加工的抛光轨迹,并设置所述抛光轨迹上的驻留点,其中表示所述驻留点的三维空间坐标,表示所述驻留点的点数;S4:设定所述待加工工件的理论加工表面,并求取在所述理论加工表面上的每个离散面形点与每个驻留点处切平面之间的切平面距离;根据每个切平面距离计算得到对应的去除函数放缩率;每个切平面距离结合所述离散去除函数分布得到每个离散面形点在每个驻留点的驻留法向去除率,进而得到每个驻留点的驻留时间求解模型;所述步骤S4具体包括以下步骤:S41:求取所述理论加工表面上任意一点的曲面向心法向量,进而得到每个离散面形点的面形单位法向量和每个驻留点的驻留点单位法向量,并根据每个驻留点单位法向量得到对应的切平面距离,进而得到每个离散面形点相对每个驻留点的去除率坐标指向向量;S42:根据所述离散去除函数分布计算在每个驻留点处的驻留点去除函数分布,其中表示第j个驻留点的去除函数在处的去除率;S43:根据每个切平面距离计算得到每个驻留点的去除函数放缩率;根据每个驻留点的驻留点去除函数分布及每个驻留点对应的去除率坐标指向向量得到每个离散面形点在每个驻留点的驻留法向去除率,并结合所有的面形单位法向量得到所述驻留时间求解模型;S5:根据所述驻留时间求解模型建立驻留时间线性方程并对其进行求解,得到最终的每个驻留点的驻留时间;在所述步骤S5中,根据所述驻留时间求解模型建立所述驻留时间线性方程为: ;其中,,,;在求解所述驻留时间线性方程中设定最优化目标为: ;其中,,,表示最优化目标函数,上式即为在的情况下进行所述目标函数值的最小值的求解;表示正则化因子;当所述驻留时间线性方程的解符合所述最优化目标时,得到最终的每个驻留点对应的驻留时间。

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权利要求:

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