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申请/专利权人：山东有研半导体材料有限公司;有研半导体硅材料股份公司

摘要：一种重掺红磷单晶炉管道清理的方法，A、停炉取晶后二次氧化；B、调整吸尘器吸力；C、清理抽气管道：两位工作人员，其中一人为第一人，另外一人为第二人；将该炉体内热场保温部分抬出，露出该第一分管道、第二分管道、第三分管道和第四分管道的顶部开口，并使用金属堵头封堵；分别依次清理第一主管道、第一分管道、第一主管道、第二分管道、第一主管道、第二主管道、第三分管道、第二主管道、第四分管道、第二主管道。清理各个管道时，需要确认其他的管道端口处于关闭状态，只能打开当前需要清理的管道口进行清理。本发明可以避免在清理含有红磷元素的氧化硅粉尘挥发物时，发生爆燃、自燃等危险现象，从而达到使用红磷掺杂元素安全生产的目的。

主权项：1.一种重掺红磷单晶炉管道清理的方法，其特征在于，该单晶炉包括炉体，该炉体中部设有手动氧化阀；该炉体底部连接第一管道，该炉体顶部连接第二管道和第三管道，该炉体中部连接第四管道和第五管道，其中该第一管道连接主泵，该第二管道连接副泵，该第三管道、第四管道、第五管道均连接至保护气罐；该第一管道、该第二管道、第三管道、第四管道、第五管道均设有气路阀门，且该第一管道的气路阀门和该炉体之间设有蝶阀；该炉体底部还连接抽气管道，该抽气管道包括横向的相互平行的第一主管道和第二主管道，该第一主管道顶部设有竖向的第一分管道和第二分管道，该第二主管道顶部设有竖向的第三分管道和第四分管道；该第一主管道和第二主管道的一端设有可拆卸的端盖，另一端分别与第三主管道的两端连接，该第三主管道中部连接与该第一主管道平行的第四主管道，该第四主管道连接第一抽气泵，该第四主管道中部连接第五主管道，该第五主管道连接第二抽气泵；该第三主管道中部还设有竖向的顶部封闭的第六主管道；该第一分管道、第二分管道、第三分管道和第四分管道顶部与该炉体底部连接并连通，且该第一分管道靠近该第一主管道的端盖，该第三分管道靠近该第二主管道的端盖；所述重掺红磷单晶炉管道清理的方法包括下列步骤：A、停炉取晶后二次氧化：A1、停炉取晶后，使该第一管道的蝶阀开度为0%；A2、将该副泵的电源打开并打开第二管道的气路阀门，使用该副泵对该炉体内抽空；A3、将炉体内压力抽空到低于100Torr后，关闭该第二管道的气路阀门，关闭该副泵的电源；A4、确认该第一管道的蝶阀开度为0%后，打开该第一管道的气路阀门，并打开该主泵的电源开启该主泵；A5、使该第一管道的蝶阀开度由0%开始，逐步增加至该蝶阀开度为50%；A6、打开该手动氧化阀向该炉体内通入空气，使该炉体内压力维持在100Torr进行二次氧化，二次氧化进行时间4小时；进行二次氧化时保持该第三管道、第四管道和第五管道的气路阀门关闭；B、调整吸尘器吸力：通过风速仪测量吸尘器吸力，将吸尘器吸力调整到预定吸力范围；C、清理抽气管道：C1、两位工作人员，其中一人为第一人，另外一人为第二人；该第一人清理该第一分管道、第二分管道、第三分管道和第四分管道，该第二人清理该第一主管道和第二主管道，操作作业开始前均穿戴好防护用品；C2、将该炉体内热场保温部分抬出，露出该第一分管道、第二分管道、第三分管道和第四分管道的顶部开口，并使用金属堵头封堵；C3、该第二人坐在该第一主管道的管口侧面，打开该第一主管道的端盖，使用吸尘器开始清理该第一主管道内的含红磷氧化硅粉尘；该第一主管道清理完毕后，将该第一主管道的端盖盖好，通知该第一人开始清理该第一分管道；C4、该第一人打开该第一分管道的金属堵头，使用吸尘器和管道清理刷对该第一分管道进行清理，该第一分管道清理干净后，使用金属堵头将该第一分管道的顶部开口堵好后，通知该第二人打开该第一主管道的端盖，开始清理该第一主管道，使用吸尘器将清理该第一分管道时脱落堆积在该第一主管道内的含红磷氧化硅粉尘吸走；该第一主管道清理完毕后，将该第一主管道的端盖盖好，通知该第一人开始清理该第二分管道；C5、该第一人打开该第二分管道的金属堵头，使用吸尘器和管道清理刷对该第二分管道进行清理，该第二分管道清理干净后，使用金属堵头将该第二分管道的顶部开口堵好后，通知该第二人打开该第一主管道的端盖，开始清理该第一主管道，使用吸尘器将清理该第二分管道时脱落堆积在该第一主管道内的含红磷氧化硅粉尘吸走；该第一主管道清理完毕后，将该第一主管道的端盖盖好，开始清理该第二主管道；C6、该第二人转移到该第二主管道的端口侧面，准备开始清理作业；该第二主管道及其连接的该第三分管道、第四分管道的清理方法同第一主管道。

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