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申请/专利权人：浙江泓芯半导体有限公司
摘要：本实用新型公开的一种石英舟存放盘，包括盘体，盘体顶部开设有存放槽，存放槽内底部等间距开设有若干个卡槽；存放槽内部的一端设置有导料三棱板，本实用新型通过在盘体内部存放槽的内底部开设与石英舟相适配的卡槽，石英舟放置在盘体的内部时即可卡接在卡槽的内部，可以有效避免石英舟在盘体的内部晃动掉落，并且卡槽为略微倾斜状设置，可以使得石英舟位于卡槽的内部时为一端朝上倾斜状，卡槽内部的石英舟在取出时更加的便捷，盘体内部一端的导料三棱板使石英舟放置在卡槽的内部时更加便捷。
主权项：1.一种石英舟存放盘，其特征在于：包括盘体1，所述盘体1的顶部开设有存放槽5，所述存放槽5的内底部等间距开设有若干个卡槽7；所述存放槽5内部的一端设置有导料三棱板8。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江泓芯半导体有限公司 一种石英舟存放盘
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