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申请/专利权人：深圳创智芯联科技股份有限公司
摘要：本发明公开了一种适用于大马士革钴互连的电镀钴溶液，该溶液包括以下质量浓度组分：七水硫酸钴100‑200gL、硼酸30‑40gL、单丙氧基丁炔二醇醚5‑12mgL，丙烯基磺酸钠50‑100mgL、丙二醇嵌段聚醚100‑200mgL、木质素磺酸钠25‑50mgL，pH值3.8‑4.2，温度45‑55℃，电流密度在1.5‑3.5Acm2之间。本发明的得到的电镀钴镀层具有一定的光泽性，且具有优秀的填孔能力，适合无缺陷的微盲孔钴填充。
主权项：1.一种适用于大马士革钴互连的电镀钴溶液，其特征在于，该溶液包括以下质量浓度组分：七水硫酸钴、硼酸、单丙氧基丁炔二醇醚，丙烯基磺酸钠、丙二醇嵌段聚醚、木质素磺酸钠。
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百度查询： 深圳创智芯联科技股份有限公司 一种适用于大马士革钴互联的电镀钴溶液
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