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申请/专利权人：扬州大学;扬州大学扬州碳中和技术创新研究中心
摘要：本发明涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种基于局部扩散的TBC电池的制备方法，包括如下操作步骤：Step1：在链式设备中实现样品抛光、双面氧化及硼与磷掺杂剂的局部沉积；形成N区和P区；通过精确控制硼与磷掺杂剂的分布和浓度，可以确保电池N区和P区的性能得到优化。Step2：在形成的样品单面进行非晶硅沉积。通过隧穿完成后在非晶硅沉积前完成局部掺杂剂的涂覆；可以采用链式制绒（单面）、链式碱抛（单面）、链式氧化、图形化印刷实现图形化区分，此部分设备全为链式设备可连接至一起作为一步操作，此后非晶硅沉积与退火均为管式设备也可以集成，从而实现简化实验过程的目的。
主权项：1.一种基于局部扩散的TBC电池的制备方法，其特征在于，包括如下操作步骤：Step1：在链式设备中实现样品抛光、双面氧化及硼与磷掺杂剂的局部沉积；Step2：在Step1形成的样品单面进行非晶硅沉积。
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