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申请/专利权人：无锡宜恰高技术有限公司
摘要：本实用新型公开了一种半导体刻蚀设备零件遮封治具，其包括：工作台，所述工作台的内部开设有设备仓，所述设备仓底面固定连接有支撑杆，所述支撑杆的内部固定连接有转动轴，所述转动轴的外表面转动连接有活动杆，所述活动杆呈右向L形，所述活动杆横向部分呈斜坡面，所述工作台的侧面固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出端固定连接有移动杆，所述移动杆的底面转动连接有滑轮，所述滑轮的表面与活动杆的斜坡面相贴合，所述移动杆与活动杆远离转动轴的一端均固定连接有遮封治具，保护半导体器件中不需要蚀刻的区域，以避免误蚀，并可根据半导体器件的大小进行调整保护范围。
主权项：1.一种半导体刻蚀设备零件遮封治具，其特征在于，包括：工作台（1），所述工作台（1）的内部开设有设备仓（3），所述设备仓（3）底面固定连接有支撑杆（13），所述支撑杆（13）的内部固定连接有转动轴（8），所述转动轴（8）的外表面转动连接有活动杆（7），所述活动杆（7）呈右向L形，所述活动杆（7）横向部分呈斜坡面，所述工作台（1）的侧面固定连接有电动伸缩杆（12），所述电动伸缩杆（12）的输出端固定连接有移动杆（10），所述移动杆（10）的底面转动连接有滑轮（14），所述滑轮（14）的表面与活动杆（7）的斜坡面相贴合，所述移动杆（10）与活动杆（7）远离转动轴（8）的一端均固定连接有遮封治具（5）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡宜恰高技术有限公司 一种半导体刻蚀设备零件遮封治具
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