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一种具有DBR介质膜的选择性波长探测器及其制造方法和应用 

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申请/专利权人:泉州市三安光通讯科技有限公司

摘要:本发明公开了一种具有DBR介质膜的选择性波长探测器,由下至上包括衬底、光吸收层、接触层和波长选择吸收层,还包括第一电极、第二电极和DBR介质膜,第一电极位于衬底背面,第二电极设于接触层上且位于波长选择吸收层外侧,DBR介质膜设于波长选择吸收层上;DBR介质膜和波长选择吸收层用于反射吸收非特定波长的光且透过特定波长的光至光吸收层,避免了非特定波长的光对探测器的干扰,提升了对特定波长的光的响应度,增强检测效率。本发明还公开了其制造方法和在光链路检测等特殊领域的应用。

主权项:1.一种具有DBR介质膜的选择性波长探测器,其特征在于:由下至上包括衬底、光吸收层、接触层和波长选择吸收层,还包括第一电极、第二电极和DBR介质膜,第一电极位于衬底背面,第二电极设于接触层上且位于波长选择吸收层外侧,DBR介质膜设于波长选择吸收层上;所述波长选择吸收层用于吸收非特定波长的光且透过特定波长的光至所述光吸收层,所述DBR介质膜为具有高低折射率的介质层交替堆叠构成的多周期结构,各介质层的光学厚度为λ4,λ在所述非特定波长的范围内。

全文数据:

权利要求:

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