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申请/专利权人：江苏鸣熙石英制品有限公司
摘要：本实用新型是一种多层级立式石英舟，包括推动支架，推动支架上设有沿高度方向分布的若干个子舟，子舟内设有若干个前后相互平行的插板，两个相邻的插板之间形成承载基片的插槽；所述推动支架上设有多层子舟，多层子舟内设有若干个前后相互平行的插板，两个相邻的插板之间形成承载基片的插槽；插板上设有插孔，既可以固定基棒又可以在插槽内装载基片，当装载基片时，插孔形成气体流通的空间，当装载基棒时，插槽的空间可以形成一个气体流通的空间，而且可以根据实际装载量，随时调整插板的数量，和插槽的空间。多层子舟的装载量大，基片或者基棒在工艺过程中，工艺气体和基棒或者基片的表面接触越充分，工艺效果显著。
主权项：1.一种多层级立式石英舟，其特征在于：包括推动支架2，推动支架上设有沿高度方向分布的若干个子舟3，子舟内设有若干个前后相互平行的插板303，两个相邻的插板之间形成承载基片的插槽307；每个子舟的周边上均设有与插板平行的前挡板302和后挡板304，前挡板、后挡板以及插板上自上至下均设有若干排插装部，每排插装部均设有若干个沿长度方向均匀分布的插孔301，前挡板、后挡板以及插板上的插孔位于同一轴线且贯穿形成一个承载基棒的虚拟的圆柱形容置腔306。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏鸣熙石英制品有限公司 一种多层级立式石英舟
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