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申请/专利权人：上海北分科技股份有限公司
摘要：本实用新型提供了一种气体浓度测量装置，包括：激光器，用于发出探测光；测量腔，其上设有进气口和排气口，所述进气口处设有限流孔，所述排气口处设有真空发生器；所述测量腔内设有多个高反镜，用于将所述探测光多次反射；光电探测器，用于接收所述测量腔的输出光信号。本实用新型的有益之处在于，通过在测量腔的进口处设置限流孔，出口处设置真空发生器，实现了对测量腔内压力的精准控制，确保负压稳定，提升测量结果的精度。同时通过设置反射镜，使得装置结构更加紧凑，占用空间更小。
主权项：1.一种气体浓度测量装置，其特征在于，包括：激光器，用于发出探测光；测量腔，其上设有进气口和排气口，所述进气口处设有限流孔，所述排气口处设有真空发生器；所述测量腔内设有多个高反镜，用于将所述探测光多次反射；光电探测器，用于接收所述测量腔的输出光信号。
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百度查询： 上海北分科技股份有限公司 一种气体浓度测量装置
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